汽車設(shè)備MKS真空壓力計維修627F11TDC1B三大故障維修方法
1、燈絲更換：
使用預(yù)先對齊的燈絲組件快速簡便。
MKS 分析儀上的雙獨立燈絲可以通過卸下兩個筒連接器并松開兩個固定螺釘輕松更換。然后可以移除鏡像燈絲板并用新的套件替換。燈絲安裝在燈絲板上并預(yù)先對齊，以便于處理。除 UHV 版本外，所有 MKS 離子源都使用相同的燈絲組件，以最大限度地減少所需的備件庫存。
2、離子源去除：
清潔或更換以去除污染
通過斷開燈絲引線可以在一個模塊中移除完整的離子源，然后使用安裝套件中提供的 1.5mm 六角扳手，可以松開連接源的電線和源固定螺釘。此時可以移除并清潔或更換整個源。該手冊提供了源清潔的詳細(xì)說明。
3、質(zhì)量過濾器蓋：
拆下以接觸桿組件。
可以拆下質(zhì)量過濾器的蓋子，以便對過濾器進行清潔。必須拆除與桿的電氣連接以及蓋子底部的螺釘。然后蓋子滑過桿組件。此時可以對桿組件進行清潔。有關(guān)質(zhì)量過濾器清潔的更多詳細(xì)信息
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